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多传感器技术的新进展&苍产蝉辫;几分钟内测量一百万个微孔

得益于高清扫描技术，在测量玻璃通孔 (TGV)* 时，测量速度达到了的高水平。Werth 的多传感器测量方案能够全面捕捉各种几何特性。

Werth 多传感器测量概念非常适合测量电子、精密机械和光学行业的零件。例如，它可以测量可用面积为 600 毫米 x 600 毫米、最多可容纳 100 万个极小孔的穿孔玻璃板（玻璃通孔 - TGV）。

然后将不同的图案分离、金属化，并用于封装，即芯片制造中的电路堆叠。测量孔的位置、直径（≤ 100 µm）、形状和方向的精度必须达到 100%。此外，还必须确定玻璃板的平整度和厚度。

测量的技术挑战在于需要结构分辨率来捕捉数量众多的微孔的直径和形状；检测需要比传统图像处理更高的测量速度。

Werth Fiber Probe，配备 20 µm 传感球，用于测量 40 µm 孔径

VideoCheck HA Werth 专为测量公差在微米级的精密零件而设计。其 Rasterscanning HD （高清光栅扫描）操作模式能够自动扫描具有微小几何特征的大面积区域，并保持高精度，满足对分辨率和测量速度的要求。最终生成的图像分辨率高达 2000 万像素。

在不到 15 分钟的时间内，即可连续测量和评估一百万个微孔的位置、直径和形状。因此，Rastercanning HD 的速度比传统测量方法快数倍。

Werth 拥有丰富的传感器产物线，能够以高速度进行全面测量。Werth 的Fiber Probe 光纤探针是测量不同钻孔高度下形状偏差的理想选择，其玻璃探针球（直径 ≥ 20 µm）使其成为世界上性能强劲的探针。

此外，色差聚焦点传感器还用于测量玻璃板（玻璃厚度≥200 µm）的厚度和平整度。该传感器通过反射光的颜色来确定距离，因此即使在测量层厚时，也能对反射面和透明表面进行测量。

VideoCheck HA 具有高清扫描和多个传感器，可在几分钟内分析 100 万个微穿孔。